RCA洗浄

半導体製造工程におけるRCA洗浄の課題を解決する『VB1000』の代替可能性

半導体製造の根幹を支えるRCA洗浄は、シリコンウェーハの清浄度を確保するための標準プロセスですが、強酸・強アルカリ性の化学物質を多量に使用するため、作業リスクや環境負荷といった深刻な課題を抱えています。 特にRCA洗浄の […]