2026年9月

半導体洗浄はウェハだけではない―PFAS規制で見直される製造装置部品の洗浄工程

半導体製造における洗浄というと、RCA洗浄やSC-1、SC-2など、ウェハそのものの洗浄工程が注目されがちです。 しかし、半導体製造を支えているのはウェハだけではありません。 半導体製造装置には、多くの金属部品、真空部品 […]