RCA洗浄工程への代替可能性

• 第1段階 (SC-1)への適用: 『VB1000』は、pH12という高いアルカリ性と特殊な電気エネルギーによる静電反発作用で、有機物や微粒子を効率的に剥離します。名古屋市工業研究所の試験でも、微粒子のほぼ100%除去が確認されており、SC-1の目的を同等かそれ以上の性能で達成できる可能性が高いです。
• 第3段階 (SC-3)への適用: 強酸である塩酸の取り扱いリスクを排除し、静電反発作用でイオン化したパーティクルを除去します。

これにより、RCA洗浄の2つの化学処理工程を『VB1000』による単一の工程に統合できる可能性を秘めています。