『VB1000』導入がもたらすビジネスメリット

『VB1000』への代替は、単なる工程の置き換えに留まりません。

1. 工程削減によるコスト低減: RCA洗浄の第1段階 (SC-1: 有機物・パーティクル除去) および 第3段階 (SC-3: イオン汚染除去)が1つの工程になる事による工程の簡素化によるコスト削減効果。
2. 作業環境の安全性向上: 強酸・強アルカリ性物質の取り扱いリスクが排除され、作業者の健康と安全が向上します。
3. 環境負荷の大幅な低減: PFAS排出ゼロ、VOC排出ゼロ、複雑な化学排水処理の簡素化により、環境コンプライアンスを強化します。
4. 運用コストの削減: 保護具の負担軽減、防爆設備不要、排水処理の簡便化、薬剤管理の簡便化、消防法非該当なので保管も容易、各種法規制非該当等により、管理を含めたトータルコスト削減に貢献します。
5. 素材への影響低減: デリケートなウェーハや装置へのダメージリスクを最小限に抑え、製品品質と歩留まり向上に寄与します。
6. 企業価値の向上と対外的なイメージ強化: 現代の企業は、環境（Environment）、社会（Social）、ガバナンス（Governance）を重視するESG経営やSDGsへの貢献を強く意識しています。『VB1000』導入によるPFAS排除や作業安全性の向上といったプロセス改善は、これらの企業価値向上に直結し、企業の対外的なイメージ強化に貢献します。

『VB1000』は、半導体業界の長年の課題を解決し、安全性、環境負荷、運用効率の面で、洗浄プロセスの革新を推進します。